气体质量流量转换系数表

气体					代号(SEMIE52-0302)			比热(卡/克℃)	密度(克/升 0℃)	转换系数
Air		空气			008			0.2400	1.2930	1.006
Ar		氩气			004			0.1250	1.7837	1.415
AsH3		砷烷			35			0.1168	3.4780	0.673
BBr3		三溴化硼			79			0.0647	11.1800	0.378
BCl3		三氯化硼			70			0.1217	5.2270	0.430
BF3		三氟化硼			48			0.1779	3.0250	0.508
B2H6		硼烷			58			0.5020	1.2350	0.441
CCl4		四氯化碳			101			0.1297	6.8600	0.307
CF4		四氟化碳			63			0.1659	3.9636	0.420
CH4		甲烷			28			0.5318	0.7150	0.719
C2H2		乙炔			42			0.4049	1.1620	0.581
C2H4		乙烯			38			0.3658	1.2510	0.598
C2H6		乙烷			54			0.4241	1.3420	0.481
C3H4		丙炔			68			0.3633	1.7870	0.421
C3H6		丙烯			69			0.3659	1.8770	0.398
C3H8		丙烷			89			0.3990	1.9670	0.348
C4H6		丁炔			93			0.3515	2.4130	0.322
C4H8		丁烯			104			0.3723	2.5030	0.294
C4H10		丁烷			111			0.4130	2.5930	0.255
C5H12		戊烷			240			0.3916	3.2190	0.217
CH3OH		甲醇			176			0.3277	1.4300	0.584
C2H6O		乙醇			136			0.3398	2.0550	0.392
C2H3Cl3		三氯乙烷			112			0.1654	5.9500	0.278
CO		一氧化碳			009			0.2488	1.2500	1.000
CO2		二氧化碳			25			0.2017	1.9640	0.737
C2N2		氰气			59			0.2608	2.3220	0.452
Cl2		氯气			19			0.1145	3.1630	0.858
D2		氘气			14			1.7325	0.1798	0.998
F2		氟气			18			0.1970	1.6950	0.931
GeCl4		四氯化锗			113			0.1072	9.5650	0.267
GeH4		锗烷			43			0.1405	3.4180	0.569
H2		氢气			007			3.4224	0.0899	1.010
HBr		溴化氢			10			0.0861	3.6100	1.000
HCl		氯化氢			11			0.1911	1.6270	1.000
HF		氟化氢			12			0.3482	0.8930	1.000
HI		碘化氢			17			0.0545	5.7070	0.999
H2S		硫化氢			22			0.2278	1.5200	0.844
He		氦气			001			1.2418	0.1786	1.415
Kr		氪气			005			0.0593	3.7390	1.415
N2		氮气			13			0.2486	1.2500	1.000
Ne		氖气			002			0.2464	0.9000	1.415
NH3		氨气			29			0.5005	0.7600	0.719
NO		一氧化氮			16			0.2378	1.3390	0.976
NO2		二氧化氮			26			0.1923	2.0520	0.741
N2O		一氧化二氮			27			0.2098	1.9640	0.709
O2		氧气			15			0.2196	1.4270	0.992
PCl3		三氯化磷			193			0.1247	6.1270	0.358
PH3		磷烷			31			0.2610	1.5170	0.691
PF5		五氟化磷			143			0.1611	5.6200	0.302
POCl3		三氯氧磷			102			0.1324	6.8450	0.302
SiCl4		四氯化硅			108			0.1270	7.5847	0.284
SiF4		四氟化硅			88			0.1692	4.6430	0.348
SiH4		硅烷			39			0.3189	1.4330	0.599
SiH2Cl2		二氯氢硅			67			0.1472	4.5060	0.412
SiHCl3		三氯氢硅			147			0.1332	6.0430	0.340
SF6		六氟化硫			110			0.1588	6.5160	0.264
SO2		二氧化硫			32			0.1489	2.8580	0.687
TiCl4		四氯化钛			114			0.1572	8.4650	0.206
WF6		六氟化钨			121			0.0956	13.2900	0.215
Xe		氙气			006			0.0379	5.8580	1.415
10.2 转换系数使用说明
质量流量控制器出厂时一般用 N2 标定，实际使用中如果是其它气体，必要时可进行读数修正，方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。如是单组份气体，其转换系数可在我厂产品技术说明书中查得；如是多组份气体（假定由 n 种气体组成），请按下列公式计算其转换系数 C：

基本公式： C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中： ρ——为气体在标准状态下的密度
CP——为气体的定压比热
N ——为气体分子构成系数（与该气体分子构成的组份有关, 见下表）
气体分子构成系数表:
气体分子构成			举			例	N 取值
单原子分子			Ar			He	1.01
双原子分子			CO			N2	1.00
三原子分子			CO2			NO2	0.94
多原子分子			NH3			C4H8	0.88
对于混合气体： N =N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ··· + Nn (ωn/ωT )
导出公式：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ··· + Nn (ωn/ωT )] C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ··· + ρnCpn (ωn/ωT)
其中:	ω1 …ωn			——为相应气体的流量
	ωT			——为混合气体的流量
	ρ1…ρn			——为相应气体在标准状态下的密度 (数值见气体转换系数表)
	CP1…CPn			——为相应气体的定压比热 (数值见气体转换系数表)
	N1 … Nn			——为相应气体的分子构成系数, 取值见气体分子构成系数表
说明:
1）标准状态为：压力—101325Pa (760 mm Hg)，温度—273.15K (0℃)。
2）气体质量流量转换系数表中未列出的气体的有关参数，可以向我们咨询。

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